印子,在车间的日光灯下格外显眼。
……
三天。
司徒渊、张秉谦和陈默,带着六个技术员,把五十八枚废片全部暴力拆解。
用金刚石锯片切开陶瓷管壳,用酸液溶掉树脂灌封层,露出里面的裸芯片。
然后在四十倍显微镜下。
一个焊盘一个焊盘地查。
第一天查出了十七枚的问题:金丝虚焊。
陈默亲自趴在镜头前看了二十分钟。
钨合金劈刀扎在高铝陶瓷焊盘上。
针尖被坚硬的氧化铝弹开了零点几微米。
肉眼看着焊上了。
实际上金丝只是“搭”在上面,没有形成真正的合金化结合。
通电能亮,一加热就脱落。
“陶瓷太硬了。”
陈默声音发涩,
“钨针扎上去,就跟往石头上打钉子似的。”
第二天,剩下的四十一枚废片给出了第二个答案。
司徒渊在显微镜下发现了问题:
底层走线在特定区域出现了微米级的粘连。
两根本该平行的金属走线,在某处无缘无故地并到了一起。
短路。
“曝光不均匀。”
司徒渊直起腰,摘下金丝边眼镜揉了揉眼眶。
他走到GK-3光刻机旁边,查了一遍机器的运行日志。
“曝光时间设定是准的,陈默的操控也没问题。”
他皱着眉,看着日志上一串正常的数字。
“那问题出在哪?”张秉谦问。